阐释声波温度补偿压电薄膜体声波滤波器

论文导读：摘要3-4ABSTRACT4-7第一章绪论7-111.1课题探讨的背景和作用7-81.2薄膜体声波技术的进展历史8-91.3国内外进展情况以及有着的不足9-101.3.1国外探讨动态及水平91.3.2国内探讨动态及水平91.3.3有着的不足9-101.4论文的主要工作和章节安排10-11第二章基于压电效应的薄膜体声波谐振器11-252
摘要：小型化、高性能的薄膜体声波（BAW）带通滤波器在移动无线通讯系统中受到了广泛的欢迎。薄膜体声波带通滤波器是基于高Q值的谐振器，该薄膜体声波谐振器是利用压电氮化铝（AlN）薄膜的厚度延伸方式。滤波器和谐振器采取1维纵向的电-声的梅森模型。多模移动通讯终端需要高性能的射频滤波器解决案例，例如在UMTS系统中集成移动电视功能而产生的互相干扰不足。TD-CDMA的移动电视（TDtv）是一种起源于欧洲的移动电视技术，TDtv发送电视信号到移动终端的通带是以1900-1910MHz，比UMTS3G的发射频带（1920-1980MHz）仅低10MHz。为了使TDtv和UMTS在无线手机中同时利用需要一个高选择性的带通滤波器来抑制TDtv带外的干扰。同时，为了抑制UMTS Tx输出信号增加TDtv接收机的信噪比，需要在UMTS Tx通信支路增加一个滤波器，该滤波器在UMTS通带内具有极低的插入损耗，同时在TDtv频带具有良好的抑制性能。我们设计和制造了基于温度补偿的薄膜体声波技术的带通和带阻滤波器。实测结果显示，两个滤波器在通带内的具有较低的插入损耗（~3dB），高带外抑制（35~40dB）和快速的滚降特性（以通带到阻带仅有10MHz）。此外，这一对滤波器具有极低的频率温度系数（TCF），为-4ppm/oc，相比传统的BAW滤波器提升了5倍。低的频率温度系数是一个至关重要的参数，尤其是在滤波器非常陡峭的滚降区域，由于温度变化而引起细微的频率漂移都有可能导致滤波器在滚降区域不满足技术指标。该温度补偿的薄膜体声波滤波器技术非常具有代表性，它还可以运用在相类似系统中，在解决不同通讯标准互相干扰的不足中起到了关键作用，例如集成卫星收音机或者GPS导航的移动手机系统。关键词：薄膜体声波论文压电论文梅森模型论文频率温度系数论文滤波器论文
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ABSTRACT4-7
第一章 绪论7-11

1.1 课题探讨的背景和作用7-8

1.2 薄膜体声波技术的进展历史8-9

1.3 国内外进展情况以及有着的不足9-10

1.3.1 国外探讨动态及水平9

1.3.2 国内探讨动态及水平9

1.3.3 有着的不足9-10

1.4 论文的主要工作和章节安排10-11

第二章 基于压电效应的薄膜体声波谐振器11-25

2.1 体声波的定义以及其传播方式11-12

2.2 压电的定义以及压电效应12-14

2.1 压电效应12-14

2.3 薄膜体声波（BAW）谐振器、滤波器14-18

2.3.1 薄膜体声波（BAW）谐振器15-16

2.3.2 薄膜体声波（BAW）滤波器16-18

2.4 表面声波（SAW）谐振器、滤波器18-19

2.5 综合比较体声波技术和表面声波技术19-25

第三章 压电本构方程与梅森模型25-34

3.1 压电本构方程之间的联系25-29

3.2 梅森模型(Mason Model)的推导和理解29-34

第四章 薄膜体声波滤波器的设计策略34-42

4.1 滤波器的种类和特性34-38

4.2 梯形架构滤波器的设计策略及其技艺38-42

第五章 低频率温度系数带通和带阻固态叠堆薄膜体声波滤波器42-57

5.1 固态叠堆薄膜体声波谐振器（R）的结构42-44

5.2 低频率温度系数的 R44-49

5.3 温度补偿的带通滤波器和带阻滤波器49-57

5.

3.1 TDtv 带通滤波器的设计、制造、测试52-54

5.

3.2 UMTS 带阻滤波器的设计、制造、测试54-56

5.

3.3 TDtv 和 UMTS 滤波器的 TCF 测量56-57

第六章 总结与展望57-59

6.1 总结57

6.2 展望57-59

参考文献59-62
发表论文和参加科研情况说明62-63
致谢63